光刻胶、晶圆等不导电样品拍不好怎么办？蔡司电镜NanoVP来相助！
Release time: 2023-09-28
可变压力扫描电子显微镜（VPSEM）自30多年前被引入商业领域以来，已经越来越备受关注。虽然蔡司Gemini技术已经可以使用极低电压表征不导电样品的表面形貌细节，从而避免荷电效应，但仍然有许多场景必须使用高电压表征不导电样品。
通常，镀金或镀碳膜是解决此类矛盾的优选，而有些样品，由于工艺进程等因素的制约，镀导电膜将影响后续实验；有些样品亦不可破坏或进行特殊制样；同时，导电镀膜亦会影响能谱分析的准确性。
于是，集齐三大电镜拍摄不利条件：
样品不导电，必须高电压，不允许镀膜。
此时，蔡司NanoVP解决方案呼之欲出！ 让我们先来看一个实例：
样品1：橡胶块包裹纤维断面
▲ 使用标准VP模式获得11倍大视野照片（图1）。使用NanoVP模式，可以进一步高分辨观察纤维断面，逐步放大至5万倍清晰观察断面包裹的细微颗粒。全过程无荷电影响。两种VP模式互相配合，相得益彰。（图2，3，4）
当SEM在可变压力（Variable Pressure）模式下运行时 ，电子束包括激发的信号与气体分子碰撞，形成带电离子云，并随之中和样品表面累积的荷电，达到正常观察样品的目的。然而带来的不利影响是束流减少，并形成“Skirting Effect”裙边效应，分辨率也因此降低。
而蔡司NanoVP模式则大大减少了裙边效应。因为NanoVP模式配备了Beam Sleeve，使电子束在低真空区域通过的距离(BGPL)变得极短，带来的优点就是提高了低真空模式下的分辨率。
▲ 标准VP模式示意图 ▲ NanoVP 模式示意图
让我们来看更多案例：
样品2：玻璃基底光刻胶图形（光栅）
▲ 高真空环境，荷电产生的伪影与结构扭曲，无法正常观察不导电光刻胶样品。（图5）
使用NanoVP模式，100Pa低真空环境下，高电压轻松观察样品。（图6）更可以检测到生产工艺中的缺陷。（图7）
蔡司更可提供4英寸、6英寸不导电晶圆整体解决方案。搭配200mm Airlock 与专用晶圆样品Holder，轻松传输6英寸Wafer晶圆。
样品3：玻璃基底光刻胶图形（圆孔）
▲ 使用NanoVP模式，150Pa低真空环境下，轻松观察不导电基底光刻胶圆孔图形中的残胶缺陷。
样品4：鸟类羽毛化石
▲ 使用NanoVP模式，使用低真空背散射探测器清晰分辨羽毛化石中的色素分布
今年开始，蔡司将NanoVP这一经典配置覆盖到了场发射扫描电镜全系列，让您在选择机型的时候不再有后顾之忧。
▲ GeminiSEM系列NanoVP ▲ Sigma系列NanoVP Lite
蔡司NanoVP
让样品不再荷电
让画面清晰可见
让操作更为简便
无锡灵恩机电设备有限公司是蔡司工业测量代理，主要经营蔡司三坐标、蔡司3D扫描仪、蔡司工业CT以及蔡司工业显微镜等。电话热线：4009699806。
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